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吕笑梅

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期刊论文

LOW TEMPERATURE FABRICATION OF PbZr0.44Ti0.56O3话THIN FILMS

吕笑梅X.M.LU J.S.ZHU AND Y.N.WANG

Feroelectrics, 1997, Vol. 195, pp. 255-258,-0001,():

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摘要/描述

Laser (Ar+, Pulsed excimer KrF) crystallization technique was used on if-sputtered amorphous PZT thin films to decrease the substrate temperature during the fabrication of perovskite PZT thin films. The microstructure of the films was compared with those got through traditional oven treatment and rapid thermal process (RTP).

关键词:

【免责声明】以下全部内容由[吕笑梅]上传于[2009年01月13日 14时13分14秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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