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彭东林
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期刊论文
高精度时栅位移传感器研究*
机械工程学报，2005，41（12）：126～129，-0001，（）：
摘要/描述
分析了传统位移传感器的优点与不足，讨论了时空转换思想、时空坐标转换方法与时栅位移传感器原理。通过高精度时栅位移传感器的研制过程，介绍了单齿式、差频式、场式和混合式几种时栅的原理结构及其分别达到的分辨率和精度指标，最终通过鉴定的场式时栅达到了0.1“的分辨率和±0.8”的精度。还介绍了谐波修正法思想，目的在于把傅里叶变换用于传感器诞生之前的参数设计和制作过程中的误差修正，而不只是在其后的误差分解和分析。反映出时栅作为一种智能传感器所体现的技术优势和谐波修正法的实用效果，而最终目标是不依赖精密机械加工或不用刻线尺而实现精密位移测量。
关键词:
修正 精度 时栅 位移传感器
【免责声明】以下全部内容由[彭东林]上传于[2009年11月20日 16时39分44秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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