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王明华

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期刊论文

GsAIAs/GaAs量子阱行波Mach-Zehnder光调制器电极传输线的微波响应*

王明华周剑英李锡华周小平陈克坚赵旭

半导体学报,2003,24(11):1206~1210,-0001,():

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摘要/描述

研制了利用直线法设计的基于GaAs衬底上的Mach-Zehnder行波光调制器。波导层使用了场诱折射率改变量较大的非对称多量子阱结构,采用脊型波导,并湿法刻蚀出台面以消除波导区以外的载流子引起的损耗。调制器电极微波特性测试结果表明频率响应在2.5~20GHz没有明显的起伏,但在低频段响应下降很快,另外微波损耗较大,计论了其原因和改进方法。

【免责声明】以下全部内容由[王明华]上传于[2005年08月02日 00时35分20秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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