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王石刚
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期刊论文
一种新型高精度平面度图像测量系统*
仪器仪表学报，2002，5（23）：488～491，-0001，（）：
摘要/描述
介绍了一种新型的基于平面等倾干涉原理的高精度平面度测量系统。系统利用等倾干涉原理，通过CCD提取干涉条纹信息，根据干涉条纹在窗口尺坐标上的位置，并联系相邻测量点干涉条纹方向以确定干涉条纹在被检测平面上的变化量N；借以得到既能反映出半波长整数倍，又能反映半波长小数倍的平面度误差。
【免责声明】以下全部内容由[王石刚]上传于[2005年01月17日 23时38分49秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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