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王占山

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期刊论文

软X射线激光用分束镜研制

王占山王占山①吴永刚①唐伟星①秦树基①陈玲燕①徐向东②洪义麟②付绍军②朱杰③崔明启③

科学通报,2003,48,(13):1398~1401,-0001,():

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摘要/描述

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。

关键词: 软X射线 分束镜 多层膜 干涉

版权说明:以下全部内容由王占山上传于   2004年12月29日 18时35分22秒,版权归本人所有。

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