您当前所在位置: 首页 > 学者

王占山

  • 15浏览

  • 0点赞

  • 0收藏

  • 0分享

  • 63下载

  • 0评论

  • 引用

期刊论文

帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析*

王占山王洪昌†王占山†李佛生秦树基杜芸王利张众陈玲燕

物理学报,2004,53,(7):2368~2372,-0001,():

URL:

摘要/描述

介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作。计算了在13.9nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高。分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况。

版权说明:以下全部内容由王占山上传于   2004年12月29日 18时35分36秒,版权归本人所有。

我要评论

全部评论 0

本学者其他成果

    同领域成果