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王占山

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期刊论文

13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山张众王风丽吴文娟王洪昌秦树基陈玲燕

强激光与粒子束,2004,16(9):1089~1091,-0001,():

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摘要/描述

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则!设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

版权说明:以下全部内容由王占山上传于   2004年12月29日 18时35分49秒,版权归本人所有。

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