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温志渝
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引用
期刊论文
微型多道成像光谱分析系统集成的探索①②
半导体光电，1995，16（4）：326～328，-0001，（）：
摘要/描述
提出用微机械技术和常规半导体集成电路微细加工技术将庞大复杂的多道成像光谱分析系统集成化和微型化的新思想。研究了微型多道成像光谱分析系统的基本结构、工作原理和主要的制作方法。讨论了实验分光系统、成像系统和高灵敏度探测器列阵混合集成在一块三维硅基片上的初步方案。
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时14分49秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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