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温志渝
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引用
期刊论文
硅微机械与光纤组合式列阵传感器*
仪器仪表学报，1995，16（1）：336～341，-0001，（）：
摘要/描述
本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺。讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。
关键词:
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时13分28秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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