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温志渝
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引用
期刊论文
硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺*
光电工程，1995，22（4）：24～29，-0001，（）：
摘要/描述
系统地介绍了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列车传感器的特列制造工艺。在工艺实验的基础上对硅生悬臂梁列阵形成的光刻技术，各向异性腐蚀的机理与方法，梁膜厚度的精确控制，传感器的一体化等技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了详细地分析。这些工艺与常规的IC工艺兼容，为这类微传器和执行器的研制打下了较好的实验基础。
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时13分37秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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