提示
温志渝
-
83浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
117下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
集成硅微县臂梁融合式传感器制造技术*
光学精密工程，1995，3（2）：47～50，-0001，（）：
摘要/描述
重要地描述了以各种策结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成 的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅悬臂梁融合传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初不的报道，研究结果表明这是一种很有前途的技术。
【免责声明】以下全部内容由[温志渝 ]上传于[2005年03月08日 00时14分18秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
我要评论
全部评论
共 0 条
本学者其他成果
同领域成果
