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肖鹏
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期刊论文
优化设计CV I 反应器结构的流体可视化研究*
西北工业大学学报，2001，19（1）：102～105，-0001，（）：
摘要/描述
CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上，通过流场模拟研究，得到的结果是：①在底部进气方式中，采用涡流器与多孔整流器，能消除中心射流与减小上部回流区域，扩大反应器的有效使用空间；使衬底与气体主流方向成一定的夹角，能有效阻止气体边界层的分离。②在侧向进气方式中，气体采用30°喷嘴与衬底成30°角喷入，能在圆柱形衬底面上形成较理想的边界层；增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。
【免责声明】以下全部内容由[肖鹏]上传于[2009年04月06日 15时28分53秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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