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肖鹏

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期刊论文

旋转CVI快速沉积热解碳基体

肖鹏徐永东张立同成来飞

硅酸盐学报,2000,28(2):181~183,-0001,():

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摘要/描述

采用一种新的CVI工艺(旋转CVI)进行了二维碳布沉积热解碳基体的实验研究。通过实验优化工艺参数,在低压(5kPa)、高温(1100℃)、体积分数为62.5%的C3H6与3.5mm•min-1的碳布旋转线速度条件下,获得了微观孔隙中0.25μm•h-1的热解碳沉积速度、约7%的C3H6转化率与理想的热解碳基体形貌。分析了旋转CVI工艺中沉积温度和C3H6浓度等分别对沉积速度、热解碳基体形貌及C3H6转化率的影响。

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