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薛钰芝
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期刊论文
扫描离子显微镜的研究
真空科学与技术，1990，10（1）：27～32，-0001，（）：
摘要/描述
扫描离子显微镜一飞行时间质谱仪（即SIM/ToF-SIMS）的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分，自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时，束流1×10-0A、束径达亚微米，并得到ISE及ISI两种象。
关键词:
【免责声明】以下全部内容由[薛钰芝]上传于[2009年08月17日 14时08分20秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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