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严隽薇

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期刊论文

Modeling With Hierarchical Petri Net of Semiconductor Manufacturing System

严隽薇Huang Dan Yan Juanwei Qiao Fei

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摘要/描述

A new kind of hierarchical Petri net (HPN) and its modeling approach for semiconductor manufacturing system are presented in this paper. Firstly, the applications of Petri nets in semiconductor manufacturing system are briefly reviewed. Then the definition of HPN and its modeling procedure are given. Finally, an application-oriented case study is illustrated.

【免责声明】以下全部内容由[严隽薇]上传于[2006年12月06日 23时46分36秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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