提示
闫鹏勋
-
127浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
206下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究
摩擦学学报，22（3）：175～179，-0001，（）：
摘要/描述
分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了TiN涂层，采用X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征；利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度；在DF2PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能。结果表明：与采用直流磁控溅射法在400℃基底上制备的TiN涂层相比，采用磁过滤沉积装置在室温下制备的TiN涂层更加致密，表面平滑，最大硬度达35Gpa，摩擦系数明显较小（0.1～0.4），耐磨性较好。
【免责声明】以下全部内容由[闫鹏勋]上传于[2005年07月19日 00时01分59秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
我要评论
全部评论
共 0 条
本学者其他成果
同领域成果
