提示
闫鹏勋
-
46浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
161下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
多弧镀及磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜的摩擦学性能对比
摩擦学学报，24（6）：498～502，-0001，（）：
分别采用多弧离子镀（MAIP）和带有平面“S”形过滤管的磁过滤阴极弧设备（FCAP）在不锈钢基底上制备了2种TiN薄膜；采用往复式球2盘摩擦磨损试验机评价了2种薄膜的摩擦学性能；采用扫描电子显微镜观察和分析了薄膜磨斑表面形貌及其元素面分布。结果表明：采用FCAP技术制备的薄膜表面光滑、缺陷少、普遍具有明显的（111）面择优取向；而采用MAIP技术制备的薄膜表面存在较多大小不一的颗粒和孔洞，且无明显取向。在较低载荷下，采用FCAP薄膜表现出较好的抗磨性能，其磨斑表面存在沉积的TiN磨屑；而采用MAIP制备的薄膜磨斑表面无转移沉积磨屑，摩擦系数较高。
【免责声明】以下全部内容由[闫鹏勋]上传于[2005年07月19日 00时02分33秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
本学者其他成果
同领域成果
