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期刊论文
利用红外热像研究不同浓度腐蚀液中GaAs的反应启动时长
科学通报第52卷第10期2007年5月,-0001,():
提出了一种测定材料湿法刻蚀启动时长的红外热成像新方法。该方法的实质是利用反应启动时必然有化学热吸收或释放,从而引起材料表面液膜温度变化这一特点,通过红外热成像实时监测系统,采集液膜温度变化过程的红外热像,从而判断反应启动时长。实验发现,2 mm宽线形液膜是较为理想的监测对象,因其同时具备温度变化信息和空间分布信息,可以将线形液膜中心作为理想的观测特征点;由滑动液滴形成残留线形液膜可以得到超浅液膜,温度变化灵敏度高,GaAs竖直放置,可以避免液膜重力对启动时长的影响,获得更为准确的监测数据。在本实验条件下,由线形液膜的横向剖面灰度变化得到GaAs材料与H2SO4:H2O2:H2O(= 5:1:50和15:3:50)腐蚀液的反应启动时长分别约为0.2 s和0.3-0.4 s之间。该方法的提出,对于快速刻蚀技术以及固-液吸附等性能研究均具有重要价值。
【免责声明】以下全部内容由[叶玉堂]上传于[2007年09月27日 16时12分45秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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