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叶玉堂
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期刊论文
高灵敏度分束干涉型LCD盒间隙厚度测量仪
仪器仪表学报第18卷第4期1997年8月/CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC IN STRUMENT Vol. 18 No. 4 Aug. 1997，-0001，（）：
本文报道一种高灵敏度分束干涉型LCD盒间隙厚度测量仪(以下简称测厚仪)，并重点介绍其两项关键技术：干涉条纹级次的彩色识别法和光楔干涉定标法。要精确测量液晶盒间隙厚度，必须准确测定基准和测量这两组干涉条纹间的距离，因而必须准确识别干涉条纹的级次。强度识别法的测量精度易受随机噪声的影响。本文提出条纹级次的彩色识别法，利用这种方法，测量精度可以大幅度提高。定标是测厚仪的另一关键技术。本文提出独特的光楔干涉定标法。文中给出了光楔干涉法定标精度的理论估算，同时制成一光楔并应用于高精度测厚仪的实际定标。
【免责声明】以下全部内容由[叶玉堂]上传于[2007年09月27日 16时14分29秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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