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苑伟政

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期刊论文

硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟*

苑伟政李伟剑马炳和乔大勇

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摘要/描述

硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电—结构耦合问题,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响。

【免责声明】以下全部内容由[苑伟政]上传于[2005年01月19日 18时09分03秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。

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