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余晓芬
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期刊论文
多光束并行共焦探测系统特性的研究
计量学报，2004，25（2）：100～103，-0001，（）：
摘要/描述
分析了影响多光束并行共焦三维探测系统特性的各种因素，并与传统的扫描共焦显微术进行了对比分析，给出并行共焦系统横向和纵向分辨率的判定依据和测量范围指标，讨论改善系统性能指标的各项关键技术与途径。介绍了研制的多光束并行共焦检测实验系统的构成，并给出初步实验结果。
【免责声明】以下全部内容由[余晓芬]上传于[2009年02月12日 14时25分51秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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