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张德贤
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期刊论文
用电子束蒸发法低温无损情况下在有机柔性衬底上制作IT0膜及其性能研究
真空科学与技术学报，2004，24（4）：303～306，-0001，（）：
摘要/描述
在有机材料柔性衬底上沉积ITO膜，需要在低温及无损伤（即避免离子轰击及热损伤等）情况下进行。为满足此要求，采用电子束蒸发法来实现在PI衬底上沉积ITO膜，对沉积参数如电子束特性、氧分压及衬底温度对薄膜质量的影响进行了研究；对薄膜结构、表面形貌、电学及光学特性进行了检测。最后，在PI衬底上获得高质量ITO膜，其可见光透过率超过90%，电阻率低于5×10-4•cm。
【免责声明】以下全部内容由[张德贤]上传于[2010年01月04日 19时52分19秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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