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张德贤
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期刊论文
电子束低温蒸发ITO膜增透、增反特性研究
真空，2006，43（6）：8～10，-0001，（）：
摘要/描述
本实验是在低温条件下，采用电子束蒸发制备ITO透明导电薄膜，通过监测电阻来控制薄膜的厚度，通过控制薄膜厚度研究了增透和增反两种效果的ITO膜的制备及膜的光学特性。当膜厚达170nm和83nm时透过率和反射率可达95%和6%。
【免责声明】以下全部内容由[张德贤]上传于[2010年01月04日 19时53分07秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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