提示
赵辉
-
32浏览
-
0点赞
-
0收藏
-
0分享
-
119下载
-
0评论
-
引用
期刊论文
压电器件在微位移系统中的应用
压电与声光，2000，22（4）：244～252，-0001，（）：
摘要/描述
提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法，可在10μm内实现0.01μm的微动分辨力。该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中，达到了满意的效果。
【免责声明】以下全部内容由[赵辉]上传于[2011年04月25日 14时27分48秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
我要评论
全部评论
共 0 条
本学者其他成果
同领域成果
