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赵辉

期刊论文

超精瞄准定位系统的研究

计量学报，1997，18（2）：81～84，-0001，（）：

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摘要/描述

本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达0.03μm的瞄准定位精度。

关键词: 超精瞄准定位微位移技术闭环控制

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