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赵万华
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期刊论文
多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究*
电子学报，2002，31（5）：592～595，-0001，（）：
摘要/描述
提出了应用激光干涉量度（LM）系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测，具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点，完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响；它的测量分辨率高、测量范围大厦本身带有智能分析环节，在IC（Integrated circuit）制造装备厦微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中。满足太空间范围和超高精度定位的要求，井且可以通过分布式CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位。
【免责声明】以下全部内容由[赵万华]上传于[2006年10月27日 05时27分13秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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