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周斌
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期刊论文
ICF分解实验中的平面调制靶
强激光与粒子束，1997，9（4）：636、736、836、936、046，-0001，（）：
摘要/描述
介绍采用多次电镀Ni图形转移工艺将激光干涉法获得的耦合在光刻胶表面的起伏图形进行复制以获得Ni基图形转移模板，并进一步将表面起伏图形复制到聚苯乙烯薄膜的表面，以获得具有表面起伏图形的平面调制靶。为提高图形转移的精度、研究电镀图形转移工艺和聚苯乙烯薄膜图形复制工艺对表面起伏图形转移精度的影响，以扫描电子显微镜对整个图形转移流程进行监控，比较光刻胶表面图形，一次、二次电镀转移图形和转移到聚苯乙烯上图形的形貌。
【免责声明】以下全部内容由[周斌]上传于[2009年01月09日 11时28分53秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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