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期刊论文
用于ICF实验的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶*
物理,1998,27(11):786、886、986、096,-0001,():
以掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备为主,介绍通过激光干涉法结合图形转移工艺获得具有正弦起伏图形的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的工艺。对表面调制起伏图形的精确转移进行研究,以SEM 和台阶仪监控图形转移过程,控制耦合在调制图形上的表面粗糙度。
【免责声明】以下全部内容由[周斌]上传于[2009年01月09日 11时28分15秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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