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温志渝

微型传感器系统和微型分析仪器系统集成技术

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姓名：温志渝
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担任导师情况：
学位：
学术头衔：

博士生导师，
职称：-
学科领域：

凝聚态物理学
研究兴趣：微型传感器系统和微型分析仪器系统集成技术

个人简介

温志渝，教授，博士生导师。1982 年元月毕业于四川大学半导体物理专业，同年分配到重庆大学从事科研教学工作，在职攻读硕士、博士学位， 1998-1999 年在美国California Santa Barbara 大学工学院任访问教授，2003 年10 月作为访问教授到德国Chemnitz 大学合作研究课题，2005 年被德国教科部聘为德国Chemnitz 大学荣誉教授、德国Fraunhofer 工程研究院可靠性与微系统研究所荣誉教授。享受政府经贴；现任重庆大学机械及光电系统与装备研究院副院长、光电技术与系统教育部重点实验室副主任、重庆大学微系统技术研究中心和重庆市微光机电工程技术研究中心主任、模拟集成电路国家重点实验室学术委员会委员、北京大学微米/纳米技术国家重点实验室学术委员会委员、电子测试技术国家重点实验室学术委员会委、仪器科学与动态测试教育部重点实验室学术委员会委员、重庆市MEMS专家委员会委员、中国微米纳米技术学会常务理事、中国仪器仪表学会传感器分会理事，“传感器技术学报”编委副主任、“传感器与微系统”、《微电子学》学术期刊编委等，Sensors and actuators A 审稿人等。
长期从事微型传感器系统和微型分析仪器系统集成技术的研究。作为项目负责人承担和完成了40 余项国家项目，其中国家"7.5"，"8.5"攻关项目7 项，国家自然科学基金8 项、国家“863”9 项、国际合作重大项目1 项、“973”1项。并同美国California Santa Barbara大学、香港中文大学、德国开姆尼兹大学微技术中心、法国原子能委员会等在微型传感器系统和微型分析仪器研究方面进行了卓有成效的合作研究。在“8.5”攻关项目：“CL512E、CL1024C光电二极管列阵”的研究中，首次将光电二极管列阵的光谱拓展到紫外光谱区；在完成国家自然科学基金重点项目“微型光谱分析系统集成化新技术”的研究中，在国内首次成功地研制接近实用化的微型光谱仪器样机，该项目继续获得国家“863”MEMS重大专项的资助，成功地研制出实用化微型光谱仪和微型半自动生化分析仪等系列产品，在相关基础理论和关键技术方面获得重大突破；在微传感器、微执行器、微结构、信号处理及控制电路等的一体化三维集成技术研究中，成功地突破了先三维体加工，再进行IC加工的一体化三维集成和先IC 加工，再进行三维体加工的一体化三维集成的MEMS关键加工技术。首次在国内外成功地研制出基于SOC的“真空微电子触觉传感器阵列”（国家自然科学基金和国家“863”MEMS 重大专项资助项目）和MEMS振动式微型发电机系统（国家自然科学基金和国家“863”MEMS 重大专项资助项目）；获教育部科技进步二等奖、三等奖各一项，获重庆市2005年科技进步一等奖；申请发明专利18 项，获发明专利1 项、实用新型专利2 项，在国内外发表论文130 余篇。指导硕士研究生35 人，博士研究生10人。在微型传感器系统及微型分析仪器集成技术方向形成了自身的特色和优势。

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2005-03-08

【期刊论文】真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究*

温志渝，何清义，江永清，林鹏，蒋子平

重庆大学学报（自然科学版），1998，21（4）：12～16，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。采用半导体集成电路加工技术和硅微各向异性腐蚀及氧化锐化工艺，在电阻率为3～5 Ω·cm 的n 型（100）硅片上制备了真空微电子触觉传感器的场致发射阴极锥尖阵列，锥尖密度达3900个/mm2，起始发射电压为2～3V，反向击穿电压大于30V，收集极在20V在电压时，单尖发射电流达0.2μA，实验结果表明这种真空微电子触觉传感器具有良好的触觉效应。

场致发射，锥尖阵列，各向异性腐蚀，氧化锐化

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2005-03-08

【期刊论文】微型多道成像光谱分析系统集成的探索①②

温志渝，林鹏，胡松，袁祥辉，陈小强

半导体光电，1995，16（4）：326～328，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出用微机械技术和常规半导体集成电路微细加工技术将庞大复杂的多道成像光谱分析系统集成化和微型化的新思想。研究了微型多道成像光谱分析系统的基本结构、工作原理和主要的制作方法。讨论了实验分光系统、成像系统和高灵敏度探测器列阵混合集成在一块三维硅基片上的初步方案。

分析仪器,，微机械技术,，集成技术,，光谱分析,，微型系统

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2005-03-08

【期刊论文】微硅型光机电系统集成技术中的金属布线①②

温志渝，温志渝③，胡松，钟先信，费龙

半导体光电，1996，17（4）：362～365，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

针对微硅型光机电系统集成化技术中电路和金属布线与硅微各向导性深腐蚀工艺之间的不相容问题，从寻求一种电路和金属布线保护层的思想出发，提出了用SiO2/Cr复合膜作电路和布线保护膜的新工艺方法。解决了微硅型光机电系统集成技术中长期存在的电路和布线中的关健技术。

微硅型光机电系统,，集成化技术,，金属布线,，各向异性腐蚀

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2005-03-08

【期刊论文】几种新型集成硅微(型)传感器系统*

温志渝，费龙，胡松，钟先信

光学精密工程，1996，4（1）：25～28，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺。

微机械技术，微型传感器系统，硅县臂梁，集成光学，多道成像学谱

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微县臂梁融合式传感器制造技术*

温志渝，费龙，钟先信，胡松，王晓兰

光学精密工程，1995，3（2）：47～50，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

重要地描述了以各种策结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅悬臂梁融合传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初不的报道，研究结果表明这是一种很有前途的技术。

硅微悬臂梁，融合式传感器，微细加工技术

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微机械光压力传感器的研制工艺*

温志渝，钟先信，费龙，胡松

仪器仪表学报，1996，17（1）：221～224，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文系统地介绍了一种新颖的硅微机械压力传感系统的特殊制造工艺。在工艺实验的基础上，对硅微弹性膜、获取传输光信息的SiO2-SiON-SiO2条形光波导、光电探测器、金属布线以及传感器的一体化等工艺技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了分析讨论，提出了有效的工艺方法，为这类微型光机电传感器系统的集成化研究打下了较好的实验基础。

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微机械光压力传感器①②

温志渝，浊志渝，费龙

半导体光电，1995，16（3）：245～247，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构，工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法，将传输、获取信息的光波导，敏感弹性硅膜和光电探测集成在一块三维硅基片上得到的。它具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身地需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。

压力传感器,，光波导,，硅微机,，硅膜,，各向异性腐蚀

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2005-03-08

【期刊论文】混合集成微型光纤光谱仪的设计模拟及实验*

温志渝，陈刚，温中泉，蒋子平，黄尚廉

光学学报，2003，23（6）：740～744，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出了一种混合集成微型光纤光谱仪。该系统采用一种全息凹面光栅作为分光成像元件，以线阵CMOS图像传感器作为探测元件，实现400800nm波长范围内的光谱检测。整个系统的光学元件少、光能传输效率高、结构简单紧凑、体积小。通过结构与参量的优化设计、计算机模拟和初步实验表明这是一种较为理想的微型光谱仪。

微型光纤光谱仪，全息记录，光电阵列探测器

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2005-03-08

【期刊论文】硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺*

温志渝，钟先信，黄友恕，徐涛，孙晓松，朱维安

光电工程，1995，22（4）：24～29，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

系统地介绍了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列车传感器的特列制造工艺。在工艺实验的基础上对硅生悬臂梁列阵形成的光刻技术，各向异性腐蚀的机理与方法，梁膜厚度的精确控制，传感器的一体化等技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了详细地分析。这些工艺与常规的IC工艺兼容，为这类微传器和执行器的研制打下了较好的实验基础。

光纤传感器,，悬臂梁,，半导体硅,，腐蚀,，光刻,，各向异性。

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2005-03-08

【期刊论文】硅微机械与光纤组合式列阵传感器*

温志渝，钟先信，孙晓松，黄友恕

仪器仪表学报，1995，16（1）：336～341，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文提出了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器，它的主要结构部分是通过半导体微细加工技术在硅片上得到的。文中介绍了这种传感器的结构，工作原理及研制工艺。讨论分析了影响传感器灵敏度的主要因素。研制的硅微机械与光纤组合式列阵传感器初步应用于声光探测的实验系统中，获得了较满意的结果。

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2005-03-08

【期刊论文】真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究*

温志渝，何清义，江永清，林鹏，蒋子平

重庆大学学报（自然科学版），1998，21（4）：12～16，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

场致发射，锥尖阵列，各向异性腐蚀，氧化锐化

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2005-03-08

【期刊论文】混合集成微型光纤光谱仪的设计模拟及实验*

温志渝，陈刚，温中泉，蒋子平，黄尚廉

光学学报，2003，23（6）：740～744，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微型光纤光谱仪，全息记录，光电阵列探测器

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微机械光压力传感器①②

温志渝，浊志渝，费龙

半导体光电，1995，16（3）：245～247，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

压力传感器,，光波导,，硅微机,，硅膜,，各向异性腐蚀

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2005-03-08

【期刊论文】微型多道成像光谱分析系统集成的探索①②

温志渝，林鹏，胡松，袁祥辉，陈小强

半导体光电，1995，16（4）：326～328，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

分析仪器,，微机械技术,，集成技术,，光谱分析,，微型系统

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2005-03-08

【期刊论文】几种新型集成硅微(型)传感器系统*

温志渝，费龙，胡松，钟先信

光学精密工程，1996，4（1）：25～28，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微机械技术，微型传感器系统，硅县臂梁，集成光学，多道成像学谱

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微机械光压力传感器的研制工艺*

温志渝，钟先信，费龙，胡松

仪器仪表学报，1996，17（1）：221～224，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

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2005-03-08

【期刊论文】集成硅微县臂梁融合式传感器制造技术*

温志渝，费龙，钟先信，胡松，王晓兰

光学精密工程，1995，3（2）：47～50，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

硅微悬臂梁，融合式传感器，微细加工技术

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2005-03-08

【期刊论文】Study on the Integration Technology of the Micro Spectrometer

温志渝， Zhiyu Wen， Gang Chen， Yinsong Pan， Xia Li， Shanglian Huang

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

A novel hybrid integrated micro spectrometer is designed and fabricated, which greatly reduces the number of optical units used in the system and can easily realize the integration of the optical unit and the detecting array. The volume of such device is about 50mm

Micro Spectrometer,， Holographic Concave Grating,， Emission Spectrum,， Absorption Spectrum