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钟晓霞

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姓名：钟晓霞
目前身份：
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学位：
学术头衔：
职称：-
学科领域：

原子分子物理学
研究兴趣：

个人简介

　钟晓霞，女，副教授，博士生导师。1992年毕业于厦门大学物理系物理学专业，获学士学位。1995年在厦门大学物理系研究生毕业，获硕士学位。同年，考入复旦大学物理系，在激光物理和光学研究室、三束材料改性国家重点实验室攻读博士学位。1998年获博士学位后，进入上海交通大学物理系任讲师，2000年被聘为上海交通大学物理系副教授，2008年被聘为上海交通大学物理系博士生导师。其间曾在国际理论物理中心、德国斯图加特大学和欧盟联合研究中心进行访问研究。近年，主要从事等离子体纳米技术及其相关应用的理论和实验研究，并得到国家基金委、教育部、上海市科委等资助。2004年获上海市青年科技启明星计划资助。

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TA的成果

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2010-03-17

【期刊论文】ECR等离子体对单晶硅的低温大面积表面处理*

钟晓霞，孙剑，吴嘉达，钟晚霞，来冰，丁训民，李富钻

半导体学报，2000，21（10）：1019～1023，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

利用电子回旋共振（ECR）微波放电等离子体对单晶硅表面进行了低温大面积氯化和氧化处理的探索，在低于80℃的温度下得到了均匀的厚度约为7mn氯化硅和二氧化硅薄层，结合等离子体光学诊断和成分探测，分析讨论了ECR等离子处理机理，结果表明，利用这种方法可以在低温条件下在硅表面获得均匀的大面积氯化硅和二氧化硅表层。

硅，表面处理， ECR等离子体

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2010-03-17

【期刊论文】ECR等离子体对硅表面的低温大面积氮化

钟晓霞，孙剑，吴嘉达，钟晓霞)，来冰)，丁训民)，李富铭

真空科学与技术，2000，20（2）：99～102，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

利用电子回旋共振微微放电氨等离子体对单晶硅表面进行了低温大面积氯化的探索，通过样品表征和等离子体成分探测，分析讨论了氯化机理。结果表明，这种方法可以用于硅表面的低温氮化处理，获得大面积的均匀氮化硅表层。

电子回旋共振，等离子体氮化，氮化硅

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2010-03-17

【期刊论文】ECR微波放电氩离子输运过程的研究①

钟晓霞，吴嘉达，伍长征，李富铭

核聚变与等离子体物理，1998，18（4）：31～36，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

建立了电子回旋共振（EcR）微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型。考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞，以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面，模拟了源于氩气ECR微波放电的氩离子向衬底输运的过程，得到与实验报道相符的模拟结果。

电子回旋共振，微波放电，蒙特卡罗方法，等离子体

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2010-03-17

【期刊论文】衬底偏压对EcR等离子体鞘层和离子行为的影响①

钟晓霞，吴嘉达，孙剑，伍长征李富铭

核聚变与等离子体物理，1999，19（2）：73～78，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍电子回旋共振（ECR）微波放电等离子体中离子向衬底输运的蒙特卡罗模型．该模型考虑了精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面以及中性区与鞘层的衔接。通过模拟氩离子在中性区与鞘层内的输运过程，在碰撞鞘层基础上着重分析了村底偏压对鞘层内电势、离子能量分布和离子运动的角分布等鞘层特性和离子行为的影响。这些结果对ECR等离子体的实际应用也有一定的参考意义。

电子回旋共振，等离子体，稍层，蒙特卡罗模拟