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胡晓东

微纳测试与加工技术和精密测控技术方面

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姓名：胡晓东
目前身份：
担任导师情况：
学位：
学术头衔：

博士生导师，教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者
职称：-
学科领域：

测试计量仪器
研究兴趣：微纳测试与加工技术和精密测控技术方面

个人简介

胡晓东，男，1974年9月出生，博士，教授。1995年毕业于天津大学精密仪器专业，获学士学位；1998年和2000年毕业于天津大学测试计量技术及仪器专业，先后获硕士和博士学位。2000年9月至今在天津大学精密仪器与光电子工程学院工作。主要社会学术职务有：高等教育学会仪器科学及测控技术专业委员会委员，中国机械工程学会高级会员，中国微米纳米技术学会高级会员。主要从事微纳测试与加工技术和精密测控技术方面的研究工作。负责和参与完成国家自然科学基金项目2项、国家863计划项目2项、教育部重大（重点）科技项目4项、天津市重大科技攻关项目1项等十五项研究课题；目前主持国家自然基金项目、国家863计划项目、教育部新世纪优秀人才支持计划项目等课题4项。获2003年度教育部提名国家科学技术奖（一等）1项，2005年度国家科学技术进步奖（二等）1项；近年来发表论文五十余篇，申请发明专利7项，其中已授权6项； 2006年入选教育部新世纪优秀人才支持计划。

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TA的成果

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2009-06-17

【期刊论文】三维一体化超微定位系统性能的研究

胡晓东，胡小唐，杨勇

中国机械工程，1999，11（11）：1201-1203，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出一种以双柔性平行4杆结构和柔性8杆对称联动结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超阶级微定位机构。针对高精度定位的需要，设计了数字闭环控制系统，引入数字PID模糊控制器以提高系统的定位性能。

双柔性平行4杆结构，柔性8杆对称联动结构，压电陶瓷，三维一体化超微定位， PID模糊控制器

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2009-06-17

【期刊论文】基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术的研究

胡晓东，胡小唐，刘文晖

天津大学学报，1999，11（6）：678-681，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

阐述了一种基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术，该技术利用了光纤中布里渊频移与温度的依赖关系。本文从传感光纤的结构特点和材料的物性系数出发，在理论上证明了光纤温度与布里渊频移量之间存在线性关系。基于此传感技术建立了一实验系统，测试数据证明了理论分析的正确性。

分布式传感技术，光纤温度传感器，布里渊放大，布里渊额移

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2009-06-17

【期刊论文】STM在大气下的电场加工作用研究

胡晓东，于静，刘庆纲，胡小唐

电子显微学报，2001，10（5）：610-614，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

阐述了尢气状盎下STM在Au和Ti表面的电场加工宴验，宾时监测了实验中探针和样品阃的电流变化：通过对宾验结果的分析和研究，榴匪的作用机理确定为电场请导的棒触和化学反应当在探针一样品之阃施加电脉冲时，Au和Ti表面上纳米点结构的彤成显示出相似的特征，一是点培构的形成具有随机性，二是只有在撂针和样品之问的电流发生极太的渡动时才能产生可分辨的点鲒构在和表面分别施加更电压时Au表面普不会形成点站构，而在Ti表面则生成形状大小与电压幅值成正比的坑状结构另外，证赛了相对湿度时电场蒋导化学反应的影响。

STM，纳米加工，大气状态

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2009-06-17

【期刊论文】AFM电场诱导氧化加工作用的分析

胡晓东，郭彤，傅星，胡小唐

电子显微学报，2003，6（3）：206-209，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件，纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解，本文对Si表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究，包括探针与样品之间实际电压的监测、不同掺杂Si材料加工门槛电压的分析及探针扫描速率对氧化物高度的影响。实验分析表明，在氧化结构的生成过程中存在的充放电过程是不同加工门槛电压的产生和氧化作用时间与氧化线高度呈非线性关系的重要影响因素。

纳米器件，电场诱导氧化，原子力显微镜，门槛电压

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2009-06-17

【期刊论文】大气状态下STM电场加工机理分析

胡晓东，陈津平，胡小唐，于静

仪器仪表学报，2001，10（5）：494-497，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

扫描探针显微镜（SPM）家族的拓展始于扫描隧道显微镜（STM），它的发明使人类能够真正获得物质表面在原子尺度上的局域电子结构，井可揭示与之对应的原子结构。基于SPM的纳米加工技术同样是从STM开始的，车文主要介绍大气状态下STM在Au和T1表面的电场加工结果，井对其作用机理进行较深入分析，确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧化的综合作用。

STM，电场加工，电场诱导氧化

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2009-06-17

【期刊论文】复杂微结构三维形貌测量方法的研究

胡晓东，胡春光，徐临燕，郭彤，胡小唐

光电子·激光，2006，1（1）：98-101，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉囹建立二维结构模板指导相位展开的新方法，它不仅适用于静态测量，而且能应用于在动态测量中，特别是微机电系统（MEMS）器件的运动测量。以微谐振器为测试器件，对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量，实验的离面理论测量精度优于0.5nm，测试结构内部的面内理论测量精度优于0.5m，而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响，其测量精度仅在m量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。

微结构，三维形貌测量，相移显微干涉术，二维结构模板，生长算法