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2004年12月29日

【期刊论文】13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山, 张众, 王风丽, 吴文娟, 王洪昌, 秦树基, 陈玲燕

强激光与粒子束,2004,16(9):1089~1091,-0001,():

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则!设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

关键词: 软X射线, 分束镜 多层膜, 等离子体诊断

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2004年12月29日

【期刊论文】软X射线激光用分束镜研制

王占山, 王占山①, 吴永刚①, 唐伟星①, 秦树基①, 陈玲燕①, 徐向东②, 洪义麟②, 付绍军②, 朱杰③, 崔明启③

科学通报,2003,48,(13):1398~1401,-0001,():

摘要

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。

关键词: 软X射线, 分束镜 多层膜, 干涉

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