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2009年08月30日

【期刊论文】聚苯乙炔LB多层膜及其光电导性能的研究*

张诚, 徐又一

高分子学报,1997,10(5):555~558,-0001,():

摘要

制备了聚苯乙炔(PPA)LB 多层膜,将其作为电荷产生层首次应用于机能分离型光电导体领域. 从π-A曲线发现,PPA 单分子膜具有表面压力的各向异性和松弛特性。TEM照片显示,PPA分子链在LB膜中有序排列。转移比和XPS的研究表明,复合膜沉积均匀。与PPA涂膜相比,以PPA2LB多层膜作为电荷产生层的光电导体表面充电电位V0=1345V,光照1s后的光衰百分比ΔV1s=65.05%,半衰时间t1/2=0.58s,具有更优异的光电导性能。

关键词: 聚苯乙炔(, PPA), ,, LB 多层膜,, 光电导性能

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2009年08月17日

【期刊论文】M0/Si和M0/84C软X射线多层膜的界面热稳定性研究*

薛钰芝, 沈长斌, 林纪宁, 马月英, 曹健林

真空科学与技术,1998,18(6):409~414,-0001,():

摘要

用磁控溅射法制备Mo/Si多层膜(周期为25nm,20层)和Mo/B4C多层膜(周期为3.9nm,121层),并在真空中加热30min,温度为200,400,600,800和1000℃。用小角X射线衍射法和透射电镜研究不同温度下(保温0.5h)加热的样品。实验结果表明,当加热温度达600℃时,Mo/Si多层膜周期被破坏。而Mo/B4C多层膜在800℃加热温度下仍保持周期性层状结构。说明Mo/B4C多层膜不仅周期只有3.9nm,而且具有很好的热稳定性,可以作为较短波长的软X射线多层膜推广应用。

关键词: 软X射线,, 多层膜,, 热稳定性,, 界面

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2009年08月17日

【期刊论文】X射线光学多层膜的研究

薛钰芝, 林纪宁, J.Verhoeven

真空科学与技术,1994,14(2):114~118,-0001,():

摘要

介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。

关键词: 多层膜软X射线光学

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2009年08月17日

【期刊论文】Al/Al2O3多层膜的表面和界面的分析研究

薛钰芝, Martin A Green  

真空科学与技术,2002,22(1):73~76,-0001,():

摘要

用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2O3 薄膜和多层膜。用X射线光电子谱仪(XPS)和透射电镜(TEM)对样品进行检测。XPS 实验说明自然氧化的Al2O3膜层厚在2~5nm。Al/Al2O3 薄膜及多层膜的O与Al的原子浓度比为1.43~1.85。Ar 离子刻蚀的XPS 实验结果(刻蚀速率为0.09nm/s)说明:2个对层的Al/Al2O3 多层膜截面样品具有周期性结构。TEM观察到了5个对层的Al/Al2O3 多层膜的层状态结构,其周期为4nm。由此说明,热蒸发及自然氧化法是制备纳米量级的Al/Al2O3 多层膜的有效方法。

关键词: Al/, Al2O3,, 多层膜,, 表面分析,, 显微分析

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2009年08月17日

【期刊论文】氢离子束对Mo-Si多层膜界面改性的研究

薛钰芝

真空科学与技术,1995,15(1):31~35,-0001,():

摘要

为了研究氢离子束轰击Mo-Si多层膜界面的情况,采用氢离子束(能量150 eV)轰击Si表面,即Si与Mo之界面。再用Kr离子束溅射刻蚀,并用俄歇电子能谱(AES)分析。实验结果说明氢离子束对Si表面轰击能有效防止界面混杂效应(intermixing effect)。进而说明这是制备软X射线多层膜反射镜过程中解决界面混杂问题的有效途径。

关键词: Mo-Si多层膜,, H离子束,, 混杂

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2004年12月29日

【期刊论文】13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山, 张众, 王风丽, 吴文娟, 王洪昌, 秦树基, 陈玲燕

强激光与粒子束,2004,16(9):1089~1091,-0001,():

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则!设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

关键词: 软X射线, 分束镜, 多层膜 等离子体诊断

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2004年12月29日

【期刊论文】宽角度X射线超反射镜的设计*

王占山, 张众, **秦树基, 王凤丽, 陈玲燕

光子学报,2003,32,(2):31~34,-0001,():

摘要

阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法: 该方法将Frensnel反射系数公式和单纯形调优法相结合,可以设计出满足不同要求的X射线超反射镜。 依据周期多层膜确定膜层数,给出了一种确定超反射镜膜层数的方法。设计了在铜(Cu)的Kα线下,具有不同掠入射角宽度的多种钨(E)F 碳(C)超反射镜:设计中考虑了多层膜结构的界面粗糙度和相互扩散对多层膜反射性能的影响,并做了模拟计算。实验结果表明:用这种方法设计X射线超反射镜优于现有的其他方法。

关键词: 射线超反射镜, 多层膜 单纯形调优

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2004年12月29日

【期刊论文】软X射线激光用分束镜研制

王占山, 王占山①, 吴永刚①, 唐伟星①, 秦树基①, 陈玲燕①, 徐向东②, 洪义麟②, 付绍军②, 朱杰③, 崔明启③

科学通报,2003,48,(13):1398~1401,-0001,():

摘要

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。

关键词: 软X射线, 分束镜, 多层膜 干涉

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2004年12月29日

【期刊论文】帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析*

王占山, 王洪昌†, 王占山†, 李佛生, 秦树基, 杜芸, 王利, 张众, 陈玲燕

物理学报,2004,53,(7):2368~2372,-0001,():

摘要

介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作。计算了在13.9nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高。分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况。

关键词: 多层膜,, 反射率,, 帽层,, 极紫外

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