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2004年12月29日

【期刊论文】13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山, 张众, 王风丽, 吴文娟, 王洪昌, 秦树基, 陈玲燕

强激光与粒子束,2004,16(9):1089~1091,-0001,():

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则!设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

关键词: 软X射线, 分束镜, 多层膜, 等离子体诊断

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