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2009年08月17日

【期刊论文】M0/Si和M0/84C软X射线多层膜的界面热稳定性研究*

薛钰芝, 沈长斌, 林纪宁, 马月英, 曹健林

真空科学与技术,1998,18(6):409~414,-0001,():

摘要

用磁控溅射法制备Mo/Si多层膜(周期为25nm,20层)和Mo/B4C多层膜(周期为3.9nm,121层),并在真空中加热30min,温度为200,400,600,800和1000℃。用小角X射线衍射法和透射电镜研究不同温度下(保温0.5h)加热的样品。实验结果表明,当加热温度达600℃时,Mo/Si多层膜周期被破坏。而Mo/B4C多层膜在800℃加热温度下仍保持周期性层状结构。说明Mo/B4C多层膜不仅周期只有3.9nm,而且具有很好的热稳定性,可以作为较短波长的软X射线多层膜推广应用。

关键词: 软X射线,, 多层膜,, 热稳定性,, 界面

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2009年08月17日

【期刊论文】X射线光学多层膜的研究

薛钰芝, 林纪宁, J.Verhoeven

真空科学与技术,1994,14(2):114~118,-0001,():

摘要

介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。

关键词: 多层膜软X射线光学

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2006年07月05日

【期刊论文】喷气式z箍缩等离子体辐射软X射线能谱的研究*

王新新, 邹晓兵, 张贵新, 韩旻, 罗承沐

物理学报,55(3)1289~1294,-0001,():

摘要

研制了一台五通道ROSS-FILTER-PIN软X射线能谱仪,能谱范围为0.28-1.56kev它由5个连续能段组成,每个能段的起止边由罗斯滤片对(ROSS-FITERs)的L或K吸收边确定罗斯滤片对的厚度通过优化计算得到,为了使每个通道的灵敏区外响应(即所测能段外响应)与通道总响应之比最小,在滤片对的第二滤片上镀上了一定厚度的第一滤片材料;为了缩减滤片表面积以增强低能滤片的抗冲击能力及方便滤片加工,能谱仪采用了小探测面积的PIN探测器(1mm2)借助此能谱仪,测量得到了喷气式z箍缩(z-pinch)等离子体辐射软X射线能谱的分布,并研究了软X射线产额随箍缩状况的变化趋势。

关键词: z箍缩等离子体,, 罗斯滤片,, 软X射线能谱

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2004年12月29日

【期刊论文】13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山, 张众, 王风丽, 吴文娟, 王洪昌, 秦树基, 陈玲燕

强激光与粒子束,2004,16(9):1089~1091,-0001,():

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则!设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

关键词: 软X射线 分束镜, 多层膜, 等离子体诊断

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2004年12月29日

【期刊论文】软X射线激光用分束镜研制

王占山, 王占山①, 吴永刚①, 唐伟星①, 秦树基①, 陈玲燕①, 徐向东②, 洪义麟②, 付绍军②, 朱杰③, 崔明启③

科学通报,2003,48,(13):1398~1401,-0001,():

摘要

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的,是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。

关键词: 软X射线 分束镜, 多层膜, 干涉

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