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张大卫, 田延联, 王杏华, 高咏生
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研制了一种基于高刚度PZT作动器的超精密定位工作台,其特点是采用弹性铰链预紧和提供工作台侧向刚度,结构简单。动态响应速度快,分辨率高,为防止PZT作动器受到过大弯力作用和动平台弯曲变形,在动平台与PZT作动器间加入弹性缓冲环节和辅助性隔离板,另外,对工作台输入输出特性、静动态刚度和模态振刚、以及受外力作用时产生的静态位移误码差进行了试验研究。试验数据表明,该工作台可作为精密磨床的辅助工作台,极大地提高机床的定位精度。PZT作动器; 精密定位工作台; 动态特性
关键词: piezodectric translator, precision positioning work table, dynamic character
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