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2005年01月19日

【期刊论文】硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟*

苑伟政, 李伟剑, 马炳和, 乔大勇

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摘要

硅微陀螺是一个涉及力、电和流体等多个能量域的复杂系统,设计过程中综合考虑这些能量域的耦合作用有利于预测和改善陀螺的系统性能。本文采用半解析的方法分析了陀螺中的静电—结构耦合问题,引入机电转换单元模拟了偏置电压对驱动模态和敏感模态频率的影响。

关键词: 硅微陀螺,, 耦合场分析,, 静电-结构耦合

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