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2008年04月15日

【期刊论文】Improved homodyne laser interferometer used in micro-vibration analysis

郭彤， T. GUO， J. P. CHEN， D. Dontsov， X. FU， X. T. HU， G. J

，-0001，（）：

-1年11月30日

The use of homodyne interferometers has been limited to vibration measurements at objects with high surface reflectivity. This paper presents the modification of a homodyne Michelson laser interferometer that has been designed for vibration analysis at objects with industrial rough surfaces. High linearity, wide measurement range and low measurement uncertainty are the main features of this system. Experiments on an atomic force microscope (AFM) demonstrate the capability of the system.

Homodyne laser interferometer， speckle technology， micro-vibration， atomic force microscope

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2008年04月15日

【期刊论文】SPM电场加工纳米结构的评价方法

郭彤，胡晓东，胡小唐

天津大学学报2004年8月第37卷第8期/Journal of Tianjin University Vol.37, No.8, Aug.2004，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题。文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论。借助传统评价方法，结合纳米加工实际，提出了几个评价参数，并用于SPM加工方法的评价中，其中加工线宽是一个关键参数。与加工线宽相关的参数还包括直线度、线平行度、垂直度、倾斜度、加工高度及纵横比等。通过对AFM加工生成的线结构进行评价，说明了该方法的可行性。

诱导氧化，纳米结构，线宽，纵横比

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2008年04月15日

【期刊论文】采用差分相位测量方法的MEMS运动表征系统

郭彤，胡春光，陈津平，傅星，胡小唐

电子·激光2007年11月第18卷第11期/Journal of Optoelectronics·Laser Vol.18, No.11, Nov.2007，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统，用于测量可动微机电系统(MEMS)器件的离面运动，实现了nm级分辨力。系统采用五步相移高精度干涉测量方法，通过选择器件上的固定点作为参考点，实现差分测量模式，有效消除了随机误差的影响，提高了系统测量的重复性，10次测量的重复精度为3.17nm。通过研究微谐振器的离面运动特性，说明该系统的强大功能。

微机电系统，微谐振器，频闪照明，动态表征，差分测量

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2008年04月15日

【期刊论文】垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征

郭彤，胡春光，陈津平，傅星，胡小唐

光学学报2007年4月第27卷第4期/ACTA OPTICA SINICA Vol.27, No.4, April,2007，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

随着微机电系统的发展，器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表面轮廓测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上。测量系统采用了米劳显微干涉仪，利用压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向100μm范围内的精确扫描，并通过傅里叶变换算法获取条纹包络峰的位置，进而得到器件的整体集合尺寸信息，与相移干涉方法相比大大提高了测量范围。通过测量纳米台阶对该系统进行了精度标定，测量重复性在亚纳米量级。最后通过测量微谐振器和微压力传感器的几何尺寸说明了该方法的功能。

光学测量，微机电系统，扫描白光干涉术，包络峰探测算法，尺寸表征