中国科技论文在线

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2005年01月19日

苑伟政，邓进军，马炳和

，-0001，（）：

-1年11月30日

结合三角翼气动特征，介绍了两种用于三角翼前缘涡控制的MEMS微致动器，它们通过扰动边界层的分离，打破三角翼前缘分离涡的对称性，从而产生控制力矩。着重描述了微气泡致动器的工作原理、薄膜材料的选择以及结构工艺。最后利用计算流体力学软件对微气泡致动器阵列扰动下三角翼前缘涡的变化情况进行了数值仿真，进一步验证了控制方案的可行性。

微致动器，气动控制， MEMS，三角翼

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2005年01月19日

【期刊论文】音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除*

苑伟政，常洪龙

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源，并探讨了相应的消除方法。首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对敏感模态输出信号的耦合；用半频驱动方法抑制了驱动电压信号通过寄生电容对输出信号的耦合；通过在玻璃基体上开槽减轻了梳齿电容的静电悬浮以及玻璃基体上的电荷累积现象。然后通过对驱动电压幅值的自动调节弥补由加工误差所造成的驱动电容不匹配，并采用同步解调消除正交误差。

音叉电容式，微机械陀螺，误差源，耦合，分离电极

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2005年01月19日

【期刊论文】微机电系统集成设计方法与实现技术∗

苑伟政，常洪龙，马炳和

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

针对微机电系统设计存在多学科交叉、周期长等问题，提出了“自顶向下”设计与“自底向上”修正的双向微机电系统集成设计方法，并以微惯性器件为典型对象讨论了所涉及的关键技术。在此基础上构建了微机电系统集成设计平台，平台可以实现系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及全参数化驱动的微机电系统设计。并以硅微加速度计为例对该设计思想和平台进行了验证。

微机电系统，集成设计，设计平台，系统级，器件级，工艺级

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2005年01月19日

【期刊论文】平板式可变电容器宏建模及其在MEMS设计中的应用实例

苑伟政，何洋，霍鹏飞，马炳和，姜澄宇

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

平板式可变电容器是MEMS重要的机电耦合部件，建立其宏模型是MEMS系统级快速仿真的迫切需求。本文采用解析法在三维空间内建立了可描述活动极板六自由度运动的宏模型,并以MAST为模型编码语言实现了其多端口参数化组件模型。在SABER仿真平台上构建了电容检测式微加速度计系统级模型，频域仿真结果表明系统的谐振频率相对于有限元模态分析结果，计算精度相差在4%以内；时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行有限元分析软件难以实现的复杂机电耦合系统时域行为分析。

平板式可变电容器,，宏建模,，微加速度计

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2005年01月19日

【期刊论文】基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真

苑伟政，霍鹏飞，马炳和

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真，建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型，联结组件模型形成网络构建了蟹脚式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具，Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明，采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真，并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较，微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1.0%；同时，仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响，故需要尽量减小梁宽的加工误差。此外，借助该模型研究了系统对不同频率的正弦以及阶跃输入信号的响应特性。

多端口组件网络，系统级设计，微加速度计，建模与仿真

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