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2009年08月31日

【期刊论文】双、单光束互换光学头方光斑激光直写系统设计

陈林森, 解剑峰, 沈雁, 邵洁, 汪振华, 胡元

中国激光,2005,32(4):487~491,-0001,():

-1年11月30日

摘要

设计了一种具有方形光斑的新型激光直写系统,用双远心投影透镜组获得方形光斑并以逐点光刻模式运行,改善了衍射图形光刻质量,提高了系统运行效率。该系统具有双、单光束互换功能,双光束干涉用于衍射光变图像的直写,单光束进行二元衍射元件的光刻,实现了不同特性的衍射器件输出,从而解决了在同一幅光刻胶干板 上同时进行具有微米量级干涉条纹的衍射光变图像和二元相位图形的直写问题。双光束干涉调制的衍射图像分辨率达到2540dpi,方光束点尺寸为5~20μm。给出了光变衍射图像和两台阶二元相位编码图形的制作结果。

信息光学, 直写, 二元光学, 衍射图像, 干涉光学头

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2009年08月31日

【期刊论文】基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制

陈林森, 解剑锋, 沈雁, 汪振华, 陆志伟

激光与红外,2003,33(5):367~370,-0001,():

-1年11月30日

摘要

文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D 图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D 图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上。给出了实验结果。

3D图像, 干涉, 光学头, 空间光调制器

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2009年08月31日

【期刊论文】红外上转换材料共焦光学检测器研究**

陈林森, 陈林森*, 周望

光电子·激光,2004,15(5):582~585,-0001,():

-1年11月30日

摘要

提出了一种利用共焦光学结构来检测红外上转换材料被激发光的方法。采用下述步骤来提高探测灵敏度:基于红外上转换材料的光谱分布,专门设计了具有对激发外光全反射、对被激发的可见光全透射的分光反射器,用共焦光学结构有效地提高了材料的上转换效率,采用在可见光区灵敏度、在红外光区截止响应GaAsP半导体光敏器件,配合专用放大电路,实现了被激发可见光的微弱光检测。检测器能够稳定检测混合比>0.3%的红外上转换材料,给出了实验结果。

红外上转换, 共焦显微, 微弱光检测

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2009年08月31日

【期刊论文】干涉型激光直写制作光学可变图像的优化方法*

陈林森, 邵洁

仪器仪表学报,2003,24(4):626~646,-0001,():

-1年11月30日

摘要

分析了用干涉型激光直写技术制作光学可变图像的优点,为达到最佳图像质量和最短运行时间,针对不同类型的图像提出光刻轨迹按光栅取向连续曝光和控制光电开关的通断不连续曝光的两种优化运行式,并给出了实验比较结果。

激光直写, 光学可变元件, 干, 涉, 光, 栅, 衍射效率

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2009年08月31日

【期刊论文】用于数码三维衍射图像的激光照排系统*

陈林森, 解剑锋, 沈雁, 汪振华, 陆志伟

仪器仪表学报,2005,26(4):51~364,-0001,():

-1年11月30日

摘要

研制了一种新型的用于数码三维衍射图像与光学可变图像的激光照排系统,采用空间光调制器(SLM)和全息干涉成像光学头进行子图输入和干涉条纹产生,系统在635dpi图像分辨率下的运行效率达2000dots以上,该系统将为高效率制作2D,2D3D和3D光变图像提供一种良好的工具。

激光照排, 3D, 衍射图像, 干涉, 光学头, 空间光调制器

合作学者

  • 陈林森 邀请

    苏州大学,江苏

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