中国科技论文在线

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2010年01月14日

黄辉，王琦，，王兴妍，任爱光，武鹏，黄成，黄永清，任晓敏

中国激光，2005，32（8）：1045～1049，-0001，（）：

-1年11月30日

介绍了一种新型长波长InP基一镜斜置三镜腔型（0MITMiC）光电探测器，并对其进行了数值模拟。介绍了该光电探测器的两项关键制备工艺。首先，利用动态掩膜湿法腐蚀技术，通过调节HCl:HF:CrO3腐蚀溶液的选择比，在与InP晶格匹配的In0.72Ga0.28As0.6P0.4外延层上制备出了不同倾角的楔形结构。其次，利用选择性湿法腐蚀技术，通过FeCl3:H2O溶液对In0.58Ga0.47As牺牲层的腐蚀，制备出了具有InP/空气隙的高反射率分布式布拉格反射镜（DBR）。

光电子学，光电探测器，楔型结构，空气隙

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2010年01月14日

【期刊论文】长波长、高灵敏度的ⅡnP/ⅡnGaAs谐振腔光电探测器*

黄辉，王琦，雷蕾，黄永清，任晓敏

光电子•激光，2002，13（3）：221～224，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

本文报道了一种能够实现高速、高灵敏度的InP基谐振腔增强型（RCE）光电探测器。它采用衬底入光方式，解决了在InP衬底上外延生长的InP/InGaAsP介质膜分布布拉格反射镜（DBR）反射率低的问题，该探测器的吸收层厚度为0.2um，在波长1.583um处获得了80%的峰值量子效率。同时为了降低探测器的固有电容，利用质子注入技术使得器件的部分电极绝缘，实验结果表明质子注入不影响RCE光电探测器的量子效率。

谐振腔增强型(， RCE)，光电探测器，长波长，高速响应，高灵敏度

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2010年01月14日

【期刊论文】基区重掺杂突变HBT带阶的扰动对电流影响研究*

黄辉，周守利)，黄辉)，黄永清)，任晓敏)

物理学报，2007，56（5）：2890～2894，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

重掺杂禁带变窄效应引起异质结导带、价带带阶的扰动，从而使突变HBT‘异质结界面势垒的形状和高度发生了变化，这将对电流传输特性产生重要的影响。基于热场发射。扩散模型，对这一现象进行了深入的研究。得到的结论是：异质结界面势垒的扰动引起内建势的变化对电流影响的重要性远大于其引起隧道效应发生区域的变化，这是由于内建势的变化对电流的影响反映在指数项；因此对于突变HBT，精确考虑禁带变窄在导带与价带之间的分布对于器件性能的分析是非常重要的。

HBT,，能带带阶,，内建势,，隧穿因子

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2010年01月14日

【期刊论文】基于低温缓冲层的单片集成长波长可调谐光探测器*

黄辉，吕吉贺†，任晓敏，苗昂，李轶群，王睿，黄永清，王琦

半导体学报，2007，28（11）：1807～1810，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

实现了一种单片集成的长波长可调谐光探测器。通过外延实验，摸索出低温缓冲层的最佳生长条件，成功地在GaAs加衬底上生长出晶格失配度约4%的高质量的Inp基材料。基于此低温缓冲层，在GaAs粕衬底上首先生长GaAs/AlAs御舢材料的F-P腔滤波器，然后异质外延InP-In0。∞Gao。47As-InP材料的PIN结构。制作出的器件通过热调谐，峰值波长从1533.lnm红移到1543.1nm，实现了10.0nm的调谐范匿，届时喃应线宽维持在0.8nm以下，量子效率保持在23%以上，响应速率达到6.2GHz。

异质外延，可调谐，光电探测器