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2010年07月29日

【期刊论文】表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算

肖夏，姚素英，阮刚

电子学报，2006，34（5）：774～777，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点，本文研究了在Si（100）衬底上淀积双层薄膜的分层结构中超声表面波沿Si[110]晶向传播的速度-频率色散关系，应用此方法对超大规模集成电路（ULSI）中具有质软、易碎特点的低介电常数互连介质（low2k）薄膜的机械特性进行了表面波频散计算。研究了先进ULSI互连布线系统中广泛存在的3种分层薄膜结构上表面波的频散特性，计算表明不同分层结构对表面波的频散特性影响很大，对于同一分层结构，表面波的频散曲率随low2k薄膜杨氏模量的减小而显著增大，本工作为准确测定low2k薄膜的杨氏模量提供了理论计算依据。

超声表面波， low2k薄膜，频散特性，杨氏模量

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2010年07月29日

【期刊论文】超大规模集成电路互连系统的布线构造对散热的影响*

肖夏，姚素英，阮刚

半导体学报，2006，27（3）：516～523，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

应用一个三层互连布线结构研究了诸多因素尤其是布线的几何构造对互连系统散热问题的影响，并对多种不同金属与介质相结合的互连布线的散热情况进行了详细模拟研究表明互连线上焦耳热的主要散热途径为金属层内的金属线和介质层中热阻相对小的路径因此互连系统的几何布线对系统散热具有重要影响在相同条件下，铝布线系统的温升约为铜布线的QA1/QA2倍此外，模拟了0113Lm工艺互连结构中连接功能块区域的信号线上的温升情况，探讨了几种用于改善热问题的散热金属条对互连布线的导热和附加电容的影响。

ULSI互连布线，散热，几何构造

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