中国科技论文在线

上传时间

2009年06月17日

胡晓东，郭彤，傅星，胡小唐

电子显微学报，2003，6（3）：206-209，-0001，（）：

-1年11月30日

纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件，纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解，本文对Si表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究，包括探针与样品之间实际电压的监测、不同掺杂Si材料加工门槛电压的分析及探针扫描速率对氧化物高度的影响。实验分析表明，在氧化结构的生成过程中存在的充放电过程是不同加工门槛电压的产生和氧化作用时间与氧化线高度呈非线性关系的重要影响因素。

纳米器件，电场诱导氧化，原子力显微镜，门槛电压

49浏览
0点赞
0收藏
0分享
110下载
0

引用

上传时间

2009年06月17日

【期刊论文】大气状态下STM电场加工机理分析

胡晓东，陈津平，胡小唐，于静

仪器仪表学报，2001，10（5）：494-497，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

扫描探针显微镜（SPM）家族的拓展始于扫描隧道显微镜（STM），它的发明使人类能够真正获得物质表面在原子尺度上的局域电子结构，井可揭示与之对应的原子结构。基于SPM的纳米加工技术同样是从STM开始的，车文主要介绍大气状态下STM在Au和T1表面的电场加工结果，井对其作用机理进行较深入分析，确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧化的综合作用。

STM，电场加工，电场诱导氧化

63浏览
0点赞
0收藏
0分享
96下载
0

引用

上传时间

2009年06月17日

【期刊论文】复杂微结构三维形貌测量方法的研究

胡晓东，胡春光，徐临燕，郭彤，胡小唐

光电子·激光，2006，1（1）：98-101，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉囹建立二维结构模板指导相位展开的新方法，它不仅适用于静态测量，而且能应用于在动态测量中，特别是微机电系统（MEMS）器件的运动测量。以微谐振器为测试器件，对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量，实验的离面理论测量精度优于0.5nm，测试结构内部的面内理论测量精度优于0.5m，而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响，其测量精度仅在m量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。

微结构，三维形貌测量，相移显微干涉术，二维结构模板，生长算法