【期刊论文】复杂微结构三维形貌测量方法的研究

胡晓东， 胡春光， 徐临燕， 郭彤， 胡小唐

光电子·激光，2006，1（1）：98-101，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

微结构， 三维形貌测量， 相移显微干涉术， 二维结构模板， 生长算法

【期刊论文】Measuring in-plane and out-of-plane coupled motions of microstructures by stroboscopic microscopic interferometry

胡晓东

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

【期刊论文】MEMS Test System Based on Virtual Instrument Technology

胡晓东

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

【期刊论文】三维相位展开算法在精密运动测试中的应用

胡晓东

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

【期刊论文】Characterization of static and dynamic microstructures by microscopic interferometry based on a Fourier transform method

胡晓东

，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要