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胡晓东, 陈津平, 胡小唐, 于静
仪器仪表学报,2001,10(5):494-497,-0001,():
-1年11月30日
扫描探针显微镜(SPM)家族的拓展始于扫描隧道显微镜(STM),它的发明使人类能够真正获得物质表面在原子尺度上的局域电子结构,井可揭示与之对应的原子结构。基于SPM的纳米加工技术同样是从STM开始的,车文主要介绍大气状态下STM在Au和T1表面的电场加工结果,井对其作用机理进行较深入分析,确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧化的综合作用。
STM, 电场加工, 电场诱导氧化
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胡晓东, 胡春光, 徐临燕, 郭彤, 胡小唐
光电子·激光,2006,1(1):98-101,-0001,():
-1年11月30日
微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉囹建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电系统(MEMS)器件的运动测量。以微谐振器为测试器件,对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量,实验的离面理论测量精度优于0.5nm,测试结构内部的面内理论测量精度优于0.5m,而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响,其测量精度仅在m量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。
微结构, 三维形貌测量, 相移显微干涉术, 二维结构模板, 生长算法
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引用
【期刊论文】基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术的研究
胡晓东, 胡小唐, 刘文晖
天津大学学报,1999,11(6):678-681,-0001,():
-1年11月30日
阐述了一种基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术,该技术利用了光纤中布里渊频移与温度的依赖关系。本文从传感光纤的结构特点和材料的物性系数出发,在理论上证明了光纤温度与布里渊频移量之间存在线性关系。基于此传感技术建立了一实验系统,测试数据证明了理论分析的正确性。
分布式传感技术, 光纤温度传感器, 布里渊放大, 布里渊额移
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