A method of optimal design for minimization of magnetic density ripple in Surface Motor without Finite Element Analysis (FEA) data is described. By using motor geometric parameters obtained by this optimal design method, magnetic density ripple minimized and force maximized motor is developed and tested by experiment.

A simple approach of compensating friction error of high-precision tablesis proposed in this paper. On the basis of accurate prediction of the magnitude of thefriction error and the place where it occurs, first a compensator is constructed whichconsists of an online friction error prediction model and the rectangular compensationcurves regarded as the compensation pulses. Then by carrying out several times ofoptimal compensation experiments, the parameters describing the rectangular compensation curve at certain positions can be obtained. Finally the optimal parameters of the rectangular compensation curve at any position can be determined by interpolation and approximation approach. It has been shown that the method of compensating friction error proposed in this paper can be applied to effectively compensate the friction error for any circular motions of high-precision tables.

针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题，设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台。该平台采用十二个空心电磁线圈做定子、三十六块永磁体做动子，悬浮部分与驱动部分相互独立，很好地解决了电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题。采用Lorentz定律，分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮高度对悬浮稳定性的影响，确定了平台的悬浮平衡位置。建立平台在平衡位置附近的悬浮数学模型并进行了动态响应仿真研究。结果表明该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2A，悬浮高度为0.5mm时可以稳定悬浮，因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中。

表面电机是应用于微米/纳米制造和超精密加工中的定位装置。应用有限元方法，提出了表面电机的磁场分析方法。首先应用ANSYS的电磁部分建立了表面电机的二维有限元模型。然后根据磁场和电流的基本关系，应用面电流模拟方法，建立了永磁体的数学模型，并计算了它的相对磁导率。在此基础上，结合表面电机基本结构，定义所用材料的基本属性，采用ANSYS的平面单元PLANE13和远场单元INFIN110对模型进行网格划分，并在气隙处对网格进行加密。网格的边界条件满足狄利克莱（Dirichlet）边界条件。根据表面电机的通电方式给与永磁体位置相对应的绕组加电流密度J，电流方向与Z轴平行。最后，通过ANSYS的后处理器，获得了表面电机的气隙磁场通量线和磁感应强度分布图。对某些点的磁感应强度值与用传统的解析方法所得到的结果进行比较，其结果基本吻合。为进行表面电 机的动力学分析与设计制造提供了依据。本文提出的数值解法，也同样适用于永磁直线电机。