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2004年12月29日

王占山，王占山①，吴永刚①，唐伟星①，秦树基①，陈玲燕①，徐向东②，洪义麟②，付绍军②，朱杰③，崔明启③

科学通报，2003，48，（13）：1398～1401，-0001，（）：

-1年11月30日

软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过Mach-zehnder干涉仪完成的，是测量临界面附近等离子体状态的重要方法。基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1.6%。

软X射线，分束镜，多层膜，干涉

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2004年12月29日

【期刊论文】帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析*

王占山，王洪昌†，王占山†，李佛生，秦树基，杜芸，王利，张众，陈玲燕

物理学报，2004，53，（7）：2368～2372，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

介绍了在极紫外波段，利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低，使多层膜光学元件能够长时间稳定工作。计算了在13.9nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率，利用单纯形调优法，对帽层和多层膜的周期厚度进行优化，同时把分层理论用于多层膜帽层优化，可使多层膜的反射率得到进一步提高。分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况。

多层膜,，反射率,，帽层,，极紫外

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2004年12月29日

【期刊论文】宽角度X射线超反射镜的设计*

王占山，张众，， **秦树基，王凤丽，陈玲燕

光子学报，2003，32，（2）：31～34，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

阐述了一种新的X射线超反射镜的设计方法: 该方法将Frensnel反射系数公式和单纯形调优法相结合，可以设计出满足不同要求的X射线超反射镜。依据周期多层膜确定膜层数，给出了一种确定超反射镜膜层数的方法。设计了在铜（Cu）的Kα线下，具有不同掠入射角宽度的多种钨（E）F 碳（C）超反射镜：设计中考虑了多层膜结构的界面粗糙度和相互扩散对多层膜反射性能的影响，并做了模拟计算。实验结果表明：用这种方法设计X射线超反射镜优于现有的其他方法。

射线超反射镜，多层膜，单纯形调优

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2004年12月29日

【期刊论文】具有禁带展宽特性的一维光子晶体*

王占山，王利，，吴永刚，王少伟，陈玲燕

光子学报，2004，33，（2）：229～232，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

提出了介质的光学厚度系数成圆形分布的一维光子晶体结构，与周期结构的光子晶体相比，该结构具有禁带展宽特性。同时讨论了起止膜层及膜层的光学厚度对该结构禁带特性的影响，优化出了在所选材料的介电常数所允许的频率范围内，具有完全禁带特征的光子晶体结构。

光子晶体，宽禁带，光学厚度系数，圆形分布

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2004年12月29日

【期刊论文】13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制*

王占山，张众，王风丽，吴文娟，王洪昌，秦树基，陈玲燕

强激光与粒子束，2004，16（9）：1089～1091，-0001，（）：

-1年11月30日

摘要

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则！设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜，用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm，厚10nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜，实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级，同步辐射反射率计测试表明，分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

软X射线，分束镜，多层膜，等离子体诊断

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