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程凯
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期刊论文
基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统
光学精密工程，2003，11（2）：125～129，-0001，（）：
摘要/描述
目前原子力显微镜（AFM）已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段，但由于其自身扫描管及针等目常的影响，AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维徽动工作台结合原子力显徽镜以及锋利的金刚石针尖组成搬加工系统，通过编程获取微结构的轮廓，选择RS-232串口作为通讯方式，发送字符串命令控衬工作台的运动实现预定的轨迹，从而消除了扫描陶管运动范围有限且存在漂移和滞后的影响，解决了氮化硅和单晶硅针尖加工材料范围有限的问题。提升了AFM的加工能力，并加工出较为复杂的微结构传感器。实验表明这是一种可行的微加工方法。
【免责声明】以下全部内容由[程凯]上传于[2005年10月11日 22时20分55秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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