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期刊论文
基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制
激光与红外,2003,33(5):367~370,-0001,():
文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D 图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D 图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上。给出了实验结果。
【免责声明】以下全部内容由[陈林森]上传于[2009年08月31日 13时01分16秒],版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点,与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立,不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考,并请自行承担全部责任。
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