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陈林森
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期刊论文
采用空间光调制器的光变图像光刻系统*
光电子·激光，2004，15（5）：561～564，-0001，（）：
摘要/描述
用激光干涉型光学头产生干涉条纹，采用空间光调制器（SLM）进行子图输入实现光学可变图像（DVD）的快速光刻，分辨率可达5080dpi，平均运行效率达8000dots/s（1270pdpi）以上，研制了大幅面激光光刻系统，给出了实验结果。
【免责声明】以下全部内容由[陈林森]上传于[2009年08月31日 12时59分41秒]，版权归原创者所有。本文仅代表作者本人观点，与本网站无关。本网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。
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